用离子背散射方法进行半导体材料的表面分析

？一、引言单能离子束的背散射技术已广泛地应用到固体物理中．随着半导体技术的飞跃发展，背散射技术又与半导体物理的发展紧密地联系起来，使它成为研究半导体表面不可缺少的分析手段之一．在１９７３—１９７７年曾先后召开过三次有关离子束表面分析的国际会议［１－３］，详细介绍了背散射技术及其在固体物理和半导体材料中的应用．背散射分析方法的优点是准确、简单、快速，测量时对样品没有破坏性，用这种方法分析过的样?...