背散射技术用于表面微分析

？引言用离子加速器的离子束进行物质分析是近十年发展起来的有效的实验方法．它包括背散射、质子荧光分析和核反应三种方法．这些方法各有特点，互相补充［１］，背散射用来分析样品表面下组成的变化或着杂质的深度分布特别合适．其主要优点是简便、直观、定量、可靠，对样品无损伤．与其它方法相比，既不需要对样品进行麻烦的剥层处理（例如离子溅射、化学腐蚀或研磨等），也不需霎依赖“标样”．使用ｌ－２兆电子伏的４ｈｅ离?...