nbge超导薄膜的透射电镜样品的制备

？在白宝石衬底上沉积的ｎｂｇｅ超导薄膜，其超导转变温度可达２３ｋ以上．用透射电镜观察其结构是必要的，但样品的制备过程始终存在复杂的工艺问题．到目前为止，除了用离子轰击减薄方法之外，国内外尚无其他方法．我们使用国产ｌｊ－ⅱ型离子轰击减薄装置的性能样机（见图１）１），参考国内外的有关文献［１，２］，探索了这一样品的制备工艺．ｎｂｇｅ超导薄膜由中国科学院物理研究所李林等同志制备［３］，其透射电镜样品?...