如何获得高分辨高质量的x射线形貌图

？ｘ射线形貌术是研究晶体材料缺陷的重要工具之一．目前，它被广泛地用来研究晶体材料的生长缺陷、加工缺陷以及使用缺陷．本刊已发表了若干文章，介绍了ｘ射线形貌术的基本原理、实验方法、主要应用和发展方向[１－３］．本文仅就如何获得高分辨、高质量的形貌图这个ｘ射线形貌工作者最关心的问题，结合我们的工作，以ｌａｎｇ透射形貌术为例谈谈我们的体会，着重讨论影响形貌图质量的几个主要因素．一、ｘ射线源大小和波长发散....