lsi工艺和失效机理的电镜分析

？一、剖面分析技术剖面分析对确切地了解器件纵向结构参数，配合工艺研究是十分重要的．ｌｓｉ（大规模集成电路）研制工艺是综合性很强的技术，它的工序多，工艺严格而复杂，要求可靠性高．例如，６４ｋ位ｒａｍ（随机存贮器）就需要三层多晶硅工艺．虽然研制者可以按预定要求来控制工艺条件，但是实际结果必须由测试分析来判断．由于受光学显微镜分辨率的限制，无法测量这么多层次的显微结构，通常只能用电学测试进行判定．利?...