实用超高频zno薄膜换能器的研制

？在进行凝聚态物质的声传输性质的研究工作中，声换能器是必不可少的关键器件．它是将石英片预先粘在延时棒上，使用通常的抛磨技术减薄，目前国内可以做到的工作基频为１００ｍｈｚ左右．为了获得较高效率的超高频体波换能器，作者在延时棒上制作了氧化锌（ｚｎｏ）薄膜换能器．ｚｎｏ单晶是６ｍｍ类晶体，在与其ｃ轴垂直的平面内的电性是各向同性．ｃ轴高度择优取向的多晶薄膜具有与单晶相近的性能．一般的薄膜淀积技术，如真?...