集成电路中的物理问题讲座第七讲硅中杂质的物理行为

？在化学元素周期表中，已观察到许多元素在硅中能形成电子能级．它们作为硅中的杂质，其物理行为目前只有很少数的几种（例如ｂ，ｐ，ａｓ等）为人们所了解，而对周期表中的绝大多数元素在硅中的物理性质研究得还远远不够．本文根据现有的工作，论述一些杂质在硅中的物理行为．一、ⅲ族（ｂ，ａｌ，ｇａ）及ｖ族（ｐ，ａｓ，ｓｂ）元素众所周知，ⅲ，ｖ族元素是硅中最重要的杂质．它们在硅中分别是受主和施主杂质，并在硅禁带中?...