集成电路(ic)可靠性物理问题

？ｉｃ即集成电路是未来信息世界的主要物质基础之一．它自１９６０年前后在ｓｉ平面技术基础上发明以来，先后经历了小、中、和大规模电路（即ｓｓｉ，ｍｓｉ和ｌｓｉ）以及当前的超大、超高速集成电路（即ｖｌｓｉ，ｖｈｓｉｃ）阶段．为了适应这种飞速的演变，其可靠性技术也相应由分立器件的统计失效发展成为以控制和预防、消除失效为主．后二者是以失效物理或可靠性物理学研究为基础．本文试图就ｉｃ可靠性物理学这一交叉学?...