集成电路中的物理问题讲座第五讲金属-半导体接触的电流机制

？在金属－半导体界面附近一般存在势垒，称为肖特基势垒．基于这一结构的二极管称为肖特基势垒二极管或肖特基二极管．由于肖特基二极管较ｐ－ｎ结有更低的正向压降，所以在双极型集成电路中用它作限饱和二极管，以显著提高电路的速度．金属半导体接触也是金属－半导体场效应晶体管（ｍｅｓ－ｆｅｔ）及有关集成电路的基础。金属－半导体欧姆接触则广泛用于形成低阻接触．关于金属－半导体接触界面势垒的形成问题，在本刊１１卷?...