集成电路中的物理问题讲座第四讲半导体中深能级杂质缺陷与深能级瞬态谱

？大家知道，不含杂质的纯半导体几乎没有什么直接的用途．为了制造半导体器件，人们总是先将半导体材料尽可能地提纯，然后用扩散、离子注入等方法将一定数量的特定杂质掺入半导体的一定部位，以控制半导体的导电类型和电阻率，再经金属蒸发等工艺，最终制成半导体器件．因此，研究杂质的性质和作用是很重要的．在半导体中，有两类性质和作用都绝然不同的杂质一类杂质是在禁带中引入的能级与导带底或价带顶的能量差很小，远远?...