用电容法测量微振动位移

？木文介绍了微振动位移非接触测量的电容法，讨论了方法的原理，测量电子学和有关的技术问题．测量中采用小尺寸的电容位移探测头，同样获得了高的灵敏度，精密的滤波技术，使得所测振动的上限频率达７ｋｈｚ．实验结果证明，这一方法是可靠的．