实现纳米结构的新途径──stm制版技术

？实现纳米结构和器件，对于开发基于量子效应的新器件和提高现有电子器件的性能，具有重要的意义．扫描隧道电子显微镜（ｓｃａｎｎｉｎｇｔｕｎｎｅｌｉｎｇｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ，ｓｔｍ）具有原子尺度的分辨率，用以进行表面加工，可能发展成一种实现纳米结构和器件的新技术．本文简单介绍用ｓｔｍ进行纳米级制版的原理、方法以及在实验室中已实现的水平和前景．