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Keywords: 纳米金刚石膜,制备、表征和应用
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?纳米金刚石膜的制备、表征和应用研究已经成为cvd金刚石膜研究领域的一个新的热点.文章重点介绍了gruen等人在贫氢和无氢环境中制备纳米金刚石膜的开创性工作,并和在富氢气氛中制备的纳米金刚石膜进行了对比评述.对纳米金刚石膜的表征技术和应用前景进行了讨论.
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