基于em-plant的参数化虚拟组合设备

？由于大直径晶圆的加工具有严格的逗留时间约束和时间波动,使得组合设备的调度及其可行性的验证存在很大的困难,而仿真是一个有效的方法.如果组合设备的调度存在可行性,那么,通过仿真能够找到系统的可行调度.利用em-plant建立了虚拟的单臂组合设备,该系统是可重配置的.不同类型的晶圆加工具有不同的晶圆流模式和加工时间,该虚拟组合设备能够模拟不同的晶圆加工,而参数化的虚拟组合设备实现了可重用性.为了实现可视化,建立了三维模型的虚拟组合设备.对于操作组合设备的工程人员来说,该系统是直观和有效的.最后,通过例子验证了虚拟组合设备是可行的.