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电子学报 2010
基于SRAM的光栅光调制器的控制扫描电路研究, PP. 393-398 Keywords: 微机电系统,光栅光调制器,控制扫描电路,静态随机存储器 Abstract: 提出一种基于静态随机存储器(SRAM)的光栅光调制器的控制扫描电路。介绍了光栅光调制器的加工工艺和工作原理,分析了该控制扫描电路的原理和技术指标。利用Cadence软件和无锡华润上华0.5μm工艺,设计和加工了大小为8×8的控制扫描电路。通过实验表明:加工的SRAM有源矩阵单元能够实现对输出电压的更新或保持;且加工的控制扫描电路能够实现对光栅光调制器阵列的有源控制,从逻辑功能上验证了该控制扫描电路设计的正确性。结果表明:只要该控制扫描电路的行、列驱动电路能够在248MHz的时钟频率下工作,且有源矩阵单元的开关时间小于121ns,则该控制扫描电路可以满足光栅光调制器用于分辨率为1920×1080,帧频为30Hz,灰度级为256的投影显示。
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