氟化聚合物光谱响应平坦化阵列波导光栅的优化设计和制备

本文基于阵列波导光栅(AWG)的传输理论,利用含氟聚合物(PFS-co-GMA)共聚物材料,对17×17信道光谱响应平坦化AWG波分复用器进行了参数优化.由于在聚合物阵列波导光栅器件的制备过程中,选用了反应离子刻蚀(RIE)工艺和蒸汽回溶技术,形成的梯形截面波导芯,使AWG传输的光产生相位移,导致传输光谱移动,引起串扰的变化.为此我们运用等效能流分析方法对矩形截面AWG器件的参数进一步修正,通过优化设计弥补了工艺的不足.实验测试结果表明:AWG中心波长约为1550.865nm,3-dB带宽约为0.478nm,中心波长插入损耗约为10.5dB,串扰约为-21.5dB.