低能He注入局域寿命控制电导调制型功率器件输运模型

提出一种低能He注入局域寿命控制电导调制型功率器件的双极输运模型.借助三区双极输运方程导出稳态的非平衡载流子浓度分布和正向压降.借助电荷控制法并引入有效寿命概念获得反向恢复时间.理论分析和实验结果表明这种器件的反向恢复时间减小到常规器件的1/2以下,而正向压降仅增加10％.