磁浸没透镜的宽束曲轴像差理论

本文采用宽束曲轴电子光学理论,研究了磁浸没透镜的电子光学特性,得出了主轨迹方程和曲近轴轨迹方程,并利用数学软件Mathematica推导出了其全部二级像差系数.针对轴上磁场分布具有解析表达式的磁浸没透镜,文中还计算了它的曲轴二级像差,并给出了其孔径像差的弥散图形情况,从而得出了磁浸没透镜的特殊的电子光学像差特性.