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电子学报 2000
行波管夹持杆微波等离子体化学气相沉积金刚石厚膜改善散热性能研究, PP. 85-87 Keywords: 微波等离子体,化学气相沉积,夹持杆,金刚石,行波管,散热性能 Abstract: 采用微波等离子体化学气相沉积法在行波管Al2O3夹持杆上沉积金刚石厚膜,取代传统有毒的氧化铍陶瓷杆,用于宽带大功率行波管改善其散热性能.经材料性能测试,慢波组件装配及性能测试,获得了较好的实验结果:导热率大于12W/cm.℃,介电常数为5.0~5.5,介质损耗为1×10-3,体积电阻率大于1013Ω/cm;慢波组件导热性能与同结构的BeO组件相比提高3.0倍.整管冷测参数全部合格;整管热测在C波段测得Po=95W,G=35db.
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