一种新型的高均匀性非制冷红外读出电路研究

针对非制冷红外探测器系统，设计了一种高均匀性的读出电路（ROIC）结构。由于非制冷红外焦平面阵列中微测辐射热计的制作工艺存在偏差导致探测器输出存在非均匀性，其中列条纹尤为明显。所提出的读出电路能有效地消除列条纹、提高均匀性。该ROIC已在0.5？mCMOS工艺下成功流片，并应用到阵列大小为320×240的非制冷微测辐射热计焦平面上。测试结果表明：固定图像噪声（FPN）仅为0.088V，无明显列条纹。该ROIC在高均匀性的非制冷红外探测器上有着广泛的应用。