太赫兹辐射的多重反射光杠杆探测方法

提出了一种新型的微光学太赫兹辐射探测方法，以双材料微悬臂梁结构热探测方法为基础，通过多重反射光杠杆系统测量微结构的纵向微位移，从而实现太赫兹辐射量的测量。多重反射光杠杆探测方法微位移理论分辨率小于1nm。搭建了微位移测量系统，实验结果表明，测试系统理论分辨率小于4nm，实际分辨率优于10nm。给出了基于该方法的太赫兹探测器设计方案和参数。因其具有良好的抗空气扰动和光束串扰能力，可以在常温下工作，适用于非制冷、实时、低成本、微小型化的太赫兹探测器和阵列式成像设备。