320×256GaAs/AlGaAs长波红外量子阱焦平面探测器

量子阱红外探测器(Quantumwellinfraredphotodetector,QWIP)已经经历了20多年的深入研究，各种QWIP器件，包括量子阱红外探测器焦平面阵列(FPA)的研制也已经相当成熟。但是在国内，受制于整体工业水平，QWIP焦平面阵列器件的研制仍然处于起步阶段。研制了基于GaAs/AlxGa1-xAs材料、峰值响应波长为9.9μm的长波320×256n型QWIP焦平面阵列器件，其像元中心距25μm,光敏元面积为22μm×22μm。GaAs衬底减薄后的QWIP焦平面阵列，与Si基CMOS读出电路(ROIC)通过铟柱倒焊互连，并且在65K工作温度下进行了室温环境目标成像。该焦平面器件的规模和成像质量相比之前国内报道的结果都有较大提高。焦平面平均峰值探测率达1.5×1010cm·Hz1/2/W。