结合AlGaN和PVDF的新型日盲紫外探测器的研究

制作了一种新型的结合了AlGaN材料结构和Poly（vinylidenefluoride）（PVDF）热释电材料的日盲紫外探测器。当紫外光从AlGaN一侧背照射至器件上时，测量PVDF两端的热释电响应光谱，测得峰值响应在入射光波长为260nm处，响应电压高达129.6mV（此时辐射功率为39.8nW）。器件响应机理为：紫外光被i-Al0.35Ga0.65层吸收，产生光生载流子并复合生热，热量通过AlGaN材料传导给PVDF结构的电极，温度升高，PVDF对温度变化产生响应。为了进一步验证，制作了对比器件，即在AlGaN结构和PVDF结构之间加了一层多孔SiO2隔热层，测得的响应光谱中有两个峰值，一个在260nm，另外一个在300nm。与参考器件相比，在260nm处的响应电压大大减小，说明了利用热效应探测的可行性。另外，测量了不同频率下的器件响应并对其进行理论拟合，深入研究300nm处的响应机理。