离轴非球面镜检测中坐标系偏差对参数拟合的影响

光学装调前精确测量离轴非球面元件的顶点半径等参数是保证装调质量的关键。离轴非球面测量中，得到非球面坐标数据后，为了提高参数拟合的准确度，分析了测量坐标系偏差的影响。为了消除该偏差，提出了数据拟合模型和处理方法，并给出了详细的参数拟合的步骤。与直接拟合相比，该方法得到的误差平方和、均方根误差更小，决定系数更接近1，验证了拟合模型及处理方法的有效性。该方法适用于所有离轴非球面镜检测时坐标系的偏差分析和参数的拟合处理。