可调谐半导体激光吸收传感器的温度测量验证

开发了一种可调谐半导体激光吸收传感器，用于测量气体的温度，应用扫描波长吸收谱和固定波长调制谱探测水蒸气在7454.4cm-1和7185.6cm-1附近的两条吸收谱线。传感器可实现绝对温度测量，固定波长调制谱更可实现10kHz以上的测量带宽。传感器的性能和精度在已知温度和压力的静室中进行测量验证，在600~1000K的设定温度范围，两种方法的测量误差（RMS）都小于2%。表明可调谐半导体激光吸收光谱（TDLAS）传感器对于均匀的流场具有快速和精确的温度测量能力。