提高毛细管放电类氖氩46.9nm软X射线激光强度的研究

为了提高毛细管放电类氖氩46.9nm软X射线激光的强度，研究了工作介质中气体的掺杂对激光强度的影响。研究表明，在纯Ar中掺入适量的He显著地提高了激光的输出强度。通过对比在Ar中掺入Ne、N2以及Kr等其他气体的实验，系统地分析了He的掺入对等离子温度的影响，找到了在特定工作气压下最佳的掺杂比，有利于进一步提高毛细管放电46.9nm软X射线激光的强度。在放电等离子体极紫外光刻（EUVL）光源研究过程中，也采用了在Xe中掺入适量He的方式以提高13.5nm的输出强度。