扫描镜非接触式检测系统的位置误差分析

为了满足非接触式扫描镜检测系统的位置检测精度要求，分析系统各误差源对扫描镜位置检测精度的影响，制定详细的系统总体误差分配方案。分析系统的主要误差源，根据系统相关参数，利用齐次坐标转换法，建立系统引入误差量的数学模型，计算各误差源的误差传递系数；参考误差传递系数，根据加工、装调和检测水平相关数据，应用蒙特卡罗法分析计算，进行误差分配。结果表明，目前的加工、装调能力无法达到该系统的精度要求，提出了一种依据目前的检测水平进行误差分配的方法，最终应用误差补偿实现扫描镜位置检测极限误差优于2.5"。采用一字线激光器作为光源，通过0.5"莱卡经纬仪和千分表进行检测，达到系统要求的检测精度。