液相外延HgCdTe薄膜组分均匀性对器件响应光谱的影响

研究了HgCdTe液相外延薄膜的组分均匀性对器件响应光谱的影响。提出了一种计算HgCdTe红外探测器响应光谱的方法，考虑了HgCdTe液相外延薄膜的纵向组分分布和横向组分波动，以及光在器件各层结构中的相干、非相干传输。使用该方法计算了响应光谱的峰值响应率和截止波长ε液相外延HgCdTe的互扩散区厚度Δz和组分均方差σ的变化规律。结果表明：对于一般的HgCdTe外延薄膜，σ小于0.002，不需要考虑横向组分波动的影响。同时计算了峰值响应率和黑体响应率ε液相外延HgCdTe的总厚度的变化规律，可以得到最佳的吸收区厚度。