大口径凸非球面反射镜子孔径拼接检测

为了获得大口径凸非球面反射镜全口径的面形，提出了利用子孔径拼接检测大口径凸非球面的新方法。利用干涉仪标准球面波前依次干涉测定大口径镜面上各个区域的相位分布，通过子孔径拼接算法即可求解得到镜面全口径面形信息。对该方法的基本原理和实现步骤进行了分析和研究，建立了大口径拼接检测算法的数学模型，设计并研制了大口径反射镜拼接检验装置。结合实例对一口径为260mm的碳化硅凸非球面反射镜进行了9个子孔径的拼接干涉测量，并将拼接检测结果与全口径面形测量结果进行对比，两种方法测量面形PV值和RMS值的偏差分别为0.043λ和0.021λ（λ=632.8nm）。