失调三反消像散光学系统像差特性

文中以矢量波像差理论为基础，对TMA光学系统的失调像像差特性进行分析，通过分析发现失调TMA系统的初级球差在全视场内为常量，彗差在全视场内的方向与量值均为常量，由失调引入的像散表现为失对称性、像散值与视场成线性，其零点位于中心视场。在校正失调产生彗差时，TMA系统像散零点位于轴上视场，像差接近于零，而边缘视场的像散依然较大，因此在TMA系统的装调过程中，需要测量多个视场的波像差。在同样情况下若轴上视场测量到像散，则是由于主镜的面形误差导致而非系统失调引起。利用CODEV对失调TMA系统的失调像差分布进行仿真，结果表明，利用矢量波像差理论可以对失调TMA系统的像差进行定性分析，以提高TMA系统的装调效率。