波前分割DOE阵列半导体激光器光束的品字形整形

半导体激光器（LD）输出光束受工作电流、个体差异的影响，发散角、输出光强出现波动。常规衍射光学元件（DOE）的激光光束整形设计只针对特定的输入输出光场，使用宽容度比较小。文中在LD的整形中利用DOE阵列化的处理，输入光场被分割成许多小单元，不同强度的光重新在成像平面内预定的区域内叠加，实现对光束的整形。用均匀平面波设计阵列DOE每个单元，把高斯分布的球面波整形成品字形光强分布，衍射效率为90.53%，均匀性大约为96%；发散角在快、慢轴方向上2°~16°的范围内变化，均匀性为95.8%以上、衍射效率为90%以上；在离焦量±16μm内，光束质量变化不大。阵列DOE提高了LD光束整形系统的稳定性。