热处理对低损耗高反膜特性的影响分析

低损耗激光薄膜反射镜是环形激光器谐振腔的关键元件之一，首先设计和制备了工作角度为45°的低损耗高反膜。为了提高低损耗高反膜的光学性能，采用高温热处理的方式，研究了热处理对低损耗高反膜的透射率、散射系数、表面粗糙度、相移等特性的影响。高温热处理对高反膜的散射系数、表面粗糙度影响较小，随着热处理温度的增加，高反膜相移逐渐降低。当退火温度为550℃时，环形激光器输出性能稳定性最好，当工作230h后，输出能量仅下降到初始值的90.5%。实验结果表明，采用合适的热处理方式，可以有效改善低损耗高反膜特性以及环形激光器的输出性能。