基于大位移柔性结构的动镜支撑机构设计及研究

针对傅里叶红外光谱仪系统对动镜支撑机构高精度高带宽的要求，采用平行簧片结构设计了一种动镜柔性支撑机构。首先分析了平行簧片柔性结构的特点，通过理论分析给出了动镜支撑机构的设计依据，采用有限元方法分析了机构的动态响应和静态响应，同时与两杆移动机构进行了对比，结果表明结构的一阶固有频率为244.79Hz，系统位移为14mm时产生的垂直于移动方向的寄生位移为0.611μm，最大应力值为131MPa，性能明显优于两杆移动机构。通过理论分析和有限元分析为该机构的深入研究和实际应用奠定了良好的基础。