新原理光电探测阵列的微光响应测试研究

针对暗电流低、灵敏度高等优点的新原理量子效应光电探测器，设计和加工了增益可调CTIA读出电路，以获得宽动态范围读出。读出电路芯片与1×64元量子效应光电探测器集成封装，在室温（300K）条件下进行读出测试研究。光源采用633nmHe-Ne激光器，直径50μm光斑聚焦照射。测试结果表明：器件偏压为-0.1V，激光功率150pW，积分时间78μs，响应电压55mV，电压响应率达到3.67E+08V/W。根据测试结果，提出了进一步降低暗电流影响的改进测试方案。