基于虚拟仪器的多通道MEMS加速度计自动化测试系统

提出了一种7通道并行测试的MEMS加速度计自动化测试分析系统，该系统高度集成多种功能，实现了加速度计高效率测试与分析。在常规测试系统基础上，该系统通过上层应用程序Labview实现了单一人机交互终端对振动台、高低温交变湿热试验箱和供电电源等设备的控制。灵敏度、线性度、重复性、滞回特性、温度特性、频响特性等参数指标，能够在控制终端通过分析测试数据同时获得，并以报表形式输出。在一般情况下，传感器测试效率可达50只/h，大大高于传统的非自动化测试系统。经过评估测试，该测试系统还表现出较高的测试精度及稳定性和可靠性，测试误差小于±2.5%。该自动化测试系统为进一步降低MEMS传感器成本，促进其在物联网领域的大规模应用奠定了基础。