φ1.2m主镜光学加工中轴向支撑系统的补偿力分析计算

大镜面反射镜在加工过程中需要处理一些低阶的Zernike多项式面形中非旋转对称的面形残余量。这些面型残余量大大增加了加工的难度。提出利用主动支撑技术指导镜面面形的加工过程，降低加工难度。主要研究加工过程中应用主动支撑技术补偿某些低阶Zernike系数面形残差的技术方法。在轴向支撑系统中采用全浮动支撑方式对镜面面形进行控制，采用力作为控制变量的控制模式使镜面产生低阶Zernike多项式面形变化，进一步“修正”处理某些不满足合力为零和合力矩平衡的解，成功实现主动支撑补偿低阶Zernike系数项面形。最后通过Ansys-Workbench软件仿真验证该计算方法的可行性。