采用双自由曲面整形的无掩模光刻照明系统

为了实现无掩模光刻系统所需求的矩形准直平顶激光光束照明，提高照明系统的能量利用率，提出了一种利用双自由曲面整形的照明系统设计方法。根据光程守恒原理和折射定律，推导了积分形式的双自由曲面面形方程；采用数值解法求解积分方程，分别设计了含有双自由曲面的双透镜整形单元和单透镜整形单元的照明系统，使用光学设计软件对两种照明系统进行模拟，得到两种照明系统的照明均匀性在93%以上，能量利用率大于91%。结果表明，两种照明系统均能实现无掩模光刻系统的高均匀性、高能量利用率照明。