硅化铂红外焦平面探测器性能改进技术分析

硅化铂红外焦平面探测器具有响应光谱宽、规模大、均匀性好、时间稳定性高、制造成本低等优点，在多/宽光谱成像、激光探测、天文观测、医疗检测等领域具有应用潜力，但NETD100mK的灵敏度对其广泛应用有一定的限制。文中从该探测器的量子效率和填充因子两方面总结和分析了国内外的改进技术，重点分析了光腔结构、多孔硅结构、重掺杂P+和合适硅化铂膜厚提高量子效率的机理，并定量比较了提升幅度：多孔硅结构提升幅度最大，在波长4μm处的量子效率可达27%；相比内线转移CCD，电荷扫描器件、曲流沟道CCD和混合读出结构均能改善填充因子，其中混合读出结构的填充因子可提高为80%。微透镜列阵能将填充因子提高到85%以上。