(Ce，Yb）共掺杂氧化硅薄膜的发光特性及结构

采用磁控溅射技术在单晶硅衬底上制备了稀土（Ce，Yb）共掺杂氧化硅薄膜，研究了薄膜样品的结构和下转换发光性质。样品的发光光谱显示，在He-Cd激光器325nm线的激发下，Ce3+离子的发光强度较弱而Yb3+离子的发光较强；Yb3+的发光随着退火温度的升高逐渐增强；这些结果加上样品的激发光谱和衰变光谱，都显示样品中发生了Ce3+到Yb3+的能量传递过程。X射线衍射结果表明，样品在高温退火时（大于1000℃）出现晶化，形成了Ce和Yb的硅酸盐结构。笔者认为利用高温退火形成Ce的硅酸盐结构可以明显增强Yb3+的发光，从而提高薄膜的下转换发光效率。