脉冲激光诱导TiO2/SiO2薄膜表面损伤性能实验

高功率的激光系统对光学元件的抗激光损伤性能的要求不断提高。主要研究薄膜在脉冲激光诱导作用下的损伤特性及其机理，实验采用YAG脉冲激光器对TiO2/SiO2薄膜样片进行1-on-1方式的激光诱导。实验结果表明：采用低能量激光诱导对薄膜的光学透过率影响不大。经低能量激光诱导后，薄膜的表面结构缺陷得以修复，表面结构趋于完整，变得均匀和细腻。脉冲激光诱导TiO2/SiO2薄膜样片，激光能量阶较小时，其损伤阈值随能量增加而增加，损伤阈值最大可增加1倍；激光能量阶较大时，其损伤阈值随能量增加而减小。