基于最大似然估计算法的子孔径拼接检测技术

大口径平面镜作为光学系统的重要组成部分,其面形精度对系统成像具有重要影响。子孔径拼接检测作为大口径光学平面反射镜检测的常用手段,子孔径拼接算法是该技术的核心。研究了平面子孔径拼接算法,基于最大似然估计与正交化Zernike多项式拟合建立了一套合理的拼接算法与数学模型,基于该算法模型可以有效实现对大口径平面镜的拼接检测,同时编写了相应的拼接程序,并利用Φ100mm干涉仪对Φ120mm的平面镜进行了拼接检测,给出了拼接检测与全口径检测的对比结果,对比结果表明:拼接所得全孔径相位分布与全口径检测结果的RMS值偏差分别为0.002λ,验证了算法的可靠性与准确性。