子孔径拼接检测光学平面反射镜技术

干涉检测作为高精度光学面形加工的基础，其检测精度决定了加工精度。为了解决大口径光学平面反射镜检测问题，基于子孔径拼接算法，提出了一种拼接因子用于重叠区域取值，同时利用Φ100mm口径干涉仪对Φ120mm口径平面反射镜完成拼接检验，并将拼接检测结果与利用Φ150mm口径干涉仪直接检测结果进行了对比分析，实验结果表明，拼接结果无“拼痕”，拼接检测结果与全口径测量结果PV与RMS的相对偏差分别为7.25%与7.14%，检测面形是一致的，由此验证了拼接检测的可靠性和准确性。