衍射微透镜阵列用于半导体激光光束匀化

提出了一种用衍射微透镜阵列对半导体激光光束进行匀化的方法，解决了折射型微透镜阵列难于实现高填充因子、高精度面型的难题。基于标量衍射理论，设计了具有多阶相位结构的衍射微透镜阵列。采用菲涅耳衍射公式，推导了半导体激光从输入面到输出面的光场计算公式。数值模拟了成像型微透镜阵列匀化系统，并研究了微透镜口径及相位台阶数对焦斑均匀性的影响。结果表明：当衍射微透镜的口径D=0.27mm、相位台阶数L=16时，可获得不均匀性约为±5%、系统能量可利用率达97%的均匀焦斑。