基于非理想标准镜的子孔径拼接干涉检测技术研究

在大口径光学镜面的检测中，随着参考镜尺寸的增加，加工精度的制约，重力变形，温度，环境等因素的影响使得参考镜在检测中已经不能作为理想平面镜。文中基于最大似然估计（ML）算法，Zernike多项式拟合对利用非理想平面镜作为参考镜的子孔径拼接检测建立了一套合理的拼接算法和数学模型。并结合工程实例，完成了对2.5m×3.5m椭圆形平面镜的模拟拼接实验，拼接前后全孔径面形误差分布是一致的，其PV值和RMS值的偏差分别为0.022λ与0.0013λ。全口径相位分布的PV值与RMS值的相对误差分别为2.81%与0.81%。实验结果表明：利用ML拼接算法可以高精度地完成对参考镜为非理想平面的大口径平面镜的拼接检测。