激光三角法位移测量中数字散斑相关法的研究

在三角法位移测量中散斑是一种噪声，当成像光斑过弱而湮没于散斑中时，抑制散斑已没有意义；但散斑同样是位移信息的载体。为此针对激光三角法位移测量系统，研究数字散斑相关法；对强散射、粗糙界面的位移进行了实测，且进行了数据分析。结果表明，在激光三角法位移测量中运用数字散斑相关法对强散射、粗糙界面进行位移测量是可行的，测量范围可达微米级，测量误差小于2%。此法可改善三角法位移测量系统在强散射、粗糙界面的情形下传统测量方法的缺陷，有效提高了测量精度，并扩展了激光三角法位移测量的实用范围。