用傅里叶变换光谱仪同时测定半导体浅施主和浅受主杂质浓度的装置

报道了一个与Nicolet200SXV傅里叶变换光谱仪联用的可同时测定半导体样品中浅施主和浅受主杂质浓度的实验装置,介绍了用该装置同时测定硅样品中杂质硼和磷浓度的实验。