CO_2连续激光预处理基板对光学薄膜损伤阈值的影响

实验研究CO_2激光预处理基板对光学薄膜损伤阈值的影响,发现对单层膜及增透膜,辐照预处理使阈值显著提高,最高达未辐照处理的5倍;而对高反膜,辐照预处理无大的影响。用重复频率脉冲光热偏转技术实时研究了光吸收与损伤的对应关系,用时间分辨脉冲光偏转技术确定了初始损伤在样品深度方向上发生的位置,用连续调制光偏转技术,结合Nomarski光学显微镜分析了损伤形貌,得出了一些有意义的结论。