InSb表面机械损伤层厚度的光谱测定

我们根据InSb的能带结构及反射光谱特性,提出了一种新的利用反射光谱测定损伤层厚度的方法。InSb在紫外光谱区有较明显的反射峰,对应有如下的跃迁:Γ_(15v)→Γ_(15o)(3.45eV),X_(5v)-X_(1c)(4.2eV)和L_(3v)-L_(3o)(5.4eV)。由于表面的机械损伤,将引起反射率的下降,当我们使用适当化学腐蚀液逐次对InSb样品进行腐蚀,并逐次测量其反射光谱,会发现反射光谱