金膜光学常数的椭圆偏振光谱测量精度研究

为了利用可变入射角椭圆偏振光谱仪最佳地测出固体材料的光学常数,我们特别对金膜从理论和实验两方面研究了不同入射波长下入射角的选取对光学常数测量精度的影响,发现对不同的入射波长,在相应的主角下测出的光学常数具有最高的精度,主入射角下测量最佳条件对其它固体材料光学常数的测量同样适用。