非对称全内反射型SOI波导开关器件模型分析

根据有效折射率法和光束传播法分析了大截面单模ＳＯＩ脊形Ｘ型交叉波导的传输特性．指出交叉角在１．５～２°内，因导波模式引起耦合作用而导致的串音小于－２５ｄＢ；采用波动光学原理分析了非对称全内反射开关导模的传输和反射特性；讨论了等离子体色散效应，Ｐｎ结大注入效应以及Ｇｏｏｓ－Ｈａｎｃｈｅｎ位移，并分析了非对称全内反射型ＳＯＩ光波导开关的电学性质．据此优化设计了该器件的结构参数和电学参数．